晶圆晶向是指在单晶硅或化合物半导体晶圆表面，晶格结构沿着特定方向延伸的特性。简单来说，晶向就是描述晶体内部原子排列方向的一种方式。在半导体制造过程中，晶向的定义对于确定晶体生长方向、优化材料性能和制备高质量的半导体器件至关重要。例如，常见的（100）晶向是指晶体内部原子排列在一个三维坐标系统中，沿X、Y、Z轴的比例为1:1:1的方向。
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